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史珺博士:多晶硅铸锭炉的炉前检查

时间:2021-06-28 00:39 点击次数:
  本文摘要:多晶硅铸锭炉在开炉前必须在开炉前进行检查。一旦开始抽真空和冷却,特别是硅熔融后,基本上真空冶炼过程不可逆转,因此开展炉前检查特别适当,比开炉后操作者更重要。 炉前检查的目的是找到炉内不存在的安全危险和事故迹象,在开始技术之前解决问题。炉前检查的内容可分为以下几部分。请主要检查加热水路是否长。 从冷却塔到纯供水、泵、水阀、水压力和水流量表,必须逐一检查。

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多晶硅铸锭炉在开炉前必须在开炉前进行检查。一旦开始抽真空和冷却,特别是硅熔融后,基本上真空冶炼过程不可逆转,因此开展炉前检查特别适当,比开炉后操作者更重要。

炉前检查的目的是找到炉内不存在的安全危险和事故迹象,在开始技术之前解决问题。炉前检查的内容可分为以下几部分。请主要检查加热水路是否长。

从冷却塔到纯供水、泵、水阀、水压力和水流量表,必须逐一检查。加热水路时经常发生问题,炉温不会上升或熔融,水电缆水温过低可能会烧焦水电缆,水转入炉内或硅液引起爆炸,因此水路检查意味着不能疏忽。必须根据炉前检查表,逐一检查。

水路各部件检查后,开展通水试验,考虑各加热水路的供水和供水压力和流量是否长,如果找不到长时间,必须开展检查。冷却供电系统冷却供电系统还包括外部电源、电源、控制箱、电力控制器、变压器等,还应检查电缆。

另外,炉内外连接的电极、电缆和石墨零件的连接电极应特别注意。供电系统断路或短路频繁,冷却无法展开,冷却时电弧不稳定,电流不稳定,高温时电流几乎断裂,三相电流不均衡等现象,轻者温场不均匀分布,重者工艺几乎断裂检查炉内电路时,请注意水电缆外的绝热层(一般用硅酸盐玻璃布)是否完好,如果没有脱落现象,请务必更换或密切使用毛巾。炉体部分也包括上下炉盖和炉体,主要是各焊接是否有泄漏,炉壁是否洗手。

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另外,检查炉内是否有工具、鞋套、擦布等外物。炉壁的洗手是最重要的,如果炉壁有污垢,不仅会影响热效率,而且最重要的是这些污垢容易导电大气和水分,抽真空带来相当大的费用。另外,炉壁的污垢不会污染硅材料,硅材料制备的结束。

炉体各法兰在反复经历高温和低温时,不会发生变形,这些变形可能会导致密封性差、漏气等问题,因此检查法兰口是否维持在平面上,检查法兰口的密封圈是否硬化或变形密封圈的裂缝在抽真空时不会漏气。石墨冷却器内的石磨冷却器是完成炉整体冷却的痉挛体,也是热场的最重要组成部分。

它的完好无损直接影响子是否长时间工作。冷却体由石磨电极、石墨加热棒、加热棒连接件等几个部分组成。石墨零件属于消耗品,必须在一定时间后更换。

安装新的石磨零件时,请注意连接不松动或凸起,松动时接触不良,甚至用于中裂。过紧不会在高温下或温度变化时,石墨零件会因热应力而脱落。

每个石墨零件都有一定的规格和尺寸,用于一段时间后,由于硅蒸汽和水解,石墨棒不会变细,石墨棒超过一定的尺寸就不能再用了。硅材料熔融后产生的硅蒸汽不会与石墨零件反应构成碳化硅,因此石墨表面不会产生绿色表层,不会破裂,不会紧贴石墨表面。对于高密度的石磨,反应可能很小,但此时,石墨连接部件的螺纹间隙不渗透蒸汽,硅液不溅射,加热时硅液凝结收缩,石墨部件容易脱落。

因此,在所有间隙中,使用石墨泥密封最差,需要大幅度缩短石墨零件的寿命。


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